COHERENT準分子激光器VarioLas Sweep

基于強大的 COMPex 準分子激光器的系統(tǒng)是用于具有線光束或方形光束場形狀的高質(zhì)量 UV 微加工的靈活工具。

光學(xué)設(shè)計、堅固的機械結(jié)構(gòu)和具有脈沖間穩(wěn)定性的準分子激光器可提供非常準確的結(jié)果。應(yīng)用包括激光剝離 (LLO) 分離、摻雜劑離子激活、燒蝕圖案化和薄膜退火。

• 高分辨率光學(xué)和機械結(jié)構(gòu)確保可重復(fù)的結(jié)果
• 模塊化設(shè)計，提供靈活使用的定制選項
• 方光束和線光束場以獲得更優(yōu)的結(jié)果
• 支持所有 COMPex 激光器型號以實現(xiàn)有效率的加工

激光剝離分離

摻雜離子激活

燒蝕圖案

準分子激光退火